TiO-,2-薄膜的制備及其光學性能的研究.pdf

1、TiO<,2>的化學性質比較穩定且成本低、無毒，使它成為最有應用潛力的一種光催化劑。納米技術的出現為TiO<,2>的光催化領域注入了新的活力，納米TiO<,2>具有明顯的表面效應和量子尺寸效應，從而使其在光作用下有更強的氧化．還原能力。為了提高光催化劑的催化性能，使其能夠充分利用太陽光，各種新型的光催化材料不斷被研制出來。目前階段研究的半導體催化劑除了TiO<,2>的改性催化劑外，其他的還有氧氮化物、硫化物、鈦酸鹽、鈮酸鹽等，但從成本和

2、穩定性來說，光催化劑以TiO<,2>應用最廣。 本文采用直流磁控濺射法在普通載波片襯底上制備了TiO<,2>薄膜。通過改變工藝參數，在不同氧分壓下制備了TiO<,2>薄膜。利用雙靶共濺射的方法，對TiO<,2>薄膜進行了金屬離子的摻雜。研究了氧分壓對薄膜表面形貌、化學組分和光吸收性能的影響，以及不同金屬離子摻雜對TiO<,2>薄膜的表面形貌、晶體結構和光催化特性的影響。 研究發現，隨著氧分壓的增大，TiO<,2>薄膜表面