2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、氣體傳感器在大氣環境污染監測、易燃易爆氣體檢測、毒害氣體檢測、疾病診斷以及軍事武器等領域都有廣闊的應用前景。由于傳統的氣體傳感器存在體積大,功耗大,試用壽命短等不利因素,因此研制易于集成和批量生產、體積小、功耗低、壽命長的新型氣體傳感器,具有現實意義。
　　本文著重研究一種基于MEMS技術的可實現微型化、批量生產、高集成度的紅外氣體傳感器結構,并探索其實現的工藝制作流程。為后期對MEMS紅外氣體傳感器的性能優化以及工藝改進,提供了

2、理論和實驗上的基礎。本論文主要內容包括:
　　(1)利用有限元仿真分析軟件COMSOLMultiphysics對MEMS紅外氣體傳感器的兩個核心部分,發射單元和探測單元分別作了仿真分析。對發射單元進行了焦耳熱與熱膨脹的仿真,通過軟件參數化掃描優化了膜系結構參數。對探測單元進行了射頻電磁波的仿真,仿真分析單元對紅外光吸收率的規律。
　　(2)就本器件的設計結構,根據現有的工藝試驗條件,設計了一套紅外氣體傳感器芯片的制作工藝流程

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