2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
已閱讀1頁，還剩81頁未讀， 繼續免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、電子產品的迅速更新換代對平板顯示提出了大尺寸、高分辨、可彎曲等技術發展要求，非晶氧化物薄膜晶體管(TFT)平板顯示技術在這方面顯示巨大的應用潛力。非晶InGaZnO(a-IGZO)作為一個經典體系被廣泛研究并且已被用于產業化生產，但是In、Ga元素為稀有金屬元素，儲量少、價格高。ZnSnO(ZTO)作為a-IGZO的替代體系表現出優異的電學性能，但存在漏電流較大、穩定性較差等問題。本文摻入Ti作為穩定劑制備TiZnSnO(TZTO)薄膜

2、，研究Ti含量對薄膜性質及器件性能的影響規律，主要包括如下內容:
　　1.采用射頻磁控濺射方法室溫條件下制備不同Ti含量的TZTO非晶氧化物半導體薄膜，結果顯示Ti含量的不斷增大對薄膜的非晶結構、光學性能影響不大，而薄膜中氧空位濃度先降低后升高，表明Ti可以起到載流子抑制劑的作用，但同時要考慮薄膜質量對載流子濃度的影響。
　　2.將TZTO薄膜作為有源層制備TFT器件，結果顯示Ti含量的變化會對器件電學性能產生規律性影響。T

眾賞文庫> 全部分類> 畢業設計

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論