基于氧化鉭薄膜阻變器件制備及特性研究.pdf

1、隨著半導體技術的日益革新，存儲器領域也飛速發展?，F如今閃存的短板日益顯露，需要性能更強大的存儲器件才能滿足社會的需求。因此新型存儲器的出現與發展也變得極為重要。應運而生的新型存儲器有鐵電存儲器（FeRAM）、磁存儲器（MRAM）、相變存儲器（PRAM）、阻變存儲器（RRAM）。其中，阻變存儲器因具有讀寫速度快、功耗低、與傳統的CMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor）工藝兼容性好等特點成為

2、人們關注的重點。
　　二元氧化物氧化鉭薄膜因具有具有較好的endurance特性成為阻變存儲器發展的重點研究對象之一。本論文主要對基于氧化鉭薄膜的阻變存儲器進行研究和分析，其中通過在器件中插入一層鈦薄膜使器件的性能得到提升。我們通過對氧化鉭薄膜的氧分壓和厚度，鈦層插入的位置以及不同測試條件對器件進行優化，得到性能較好的結構：Ta/Ti(1nm)/TaOx/Pt，其中TaOx的氧分壓為5％、厚度是10nm。該結構在測試條件為Vset

3、=2v、Vreset=-2v、Icc=5mA時的性能最優，并且相比于不加鈦的結構：Ta/TaOx/Pt，在endurance以及uniformity等方面的性能均有較大提高。為了分析鈦層的作用又對Ta/TaOx/Pt、Ta/Ti(1nm)/TaOx/Pt、Ta/Ti(2nm)/TaOx/Pt三個樣品進行實驗分析，發現加鈦樣品的自限流現象明顯且較為穩定，并且隨著鈦層厚度的增加自限流的電流量降低。證明鈦層在Set過程中捕捉氧離子形成氧化鈦層

4、并起到串聯電阻的作用，在Reset過程中充當氧源，為氧化鉭薄膜提供足夠的氧離子，完成細絲的斷裂。由于鈦的奪氧能力比鉭強，因此這種功能結構的穩定性好。又對這種儲氧層與阻變層的疊加結構建立起相關模型，為后續的氧化鉭阻變器件的研究提供理論基礎。
　　最后將該模型擴展到氧化鉭疊層結構的阻變器件當中，首先對不加鈦的疊層結構進行測試，發現樣品的性能不佳，為了優化性能將鈦層引入該結構，得到了Ta/Ti/TaO2-x/Ta2O5-x/Pt結構，該