2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
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文檔簡介

1、ZnO因其優異的光學性能及其它明顯優勢而被認為是GaN的潛在替代材料，在近年來日漸受到人們的廣泛關注。然而，ZnO薄膜材料的p—型摻雜問題一直沒有被解決。本文以N2作為ZnO薄膜材料的p—型摻雜劑，利用射頻磁控濺射法在玻璃襯底上制備了ZnO：N薄膜，通過改變一系列生長參數進行探索比較，對其結構和發光性能進行了研究，主要內容如下： 1．通過XRD衍射譜分析了襯底溫度、氬氣氮氣流量比、工作氣壓、退火條件、濺射過程中補充一定量的氧氣對

2、薄膜中晶粒大小，晶粒生長取向情況、應力大小等結構特性的影響。采用控制變量法，依次改變薄膜濺射、沉淀過程中的各主要參數，找出晶體結構缺陷密度小、薄膜晶粒取向性好的薄膜制備工藝參數。在較低功率、較低溫度下，獲得了質量較好的ZnO：N薄膜。 2．通過室溫光致發光譜(PL譜)的研究，分析了襯底溫度、氬氣氮氣流量比、工作氣壓、退火條件、濺射過程中補充一定量的氧氣等主要工藝參數對薄膜紫外發射峰及可見光波段的常見發射峰的影響；并結合薄膜中的應

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