高頻介質阻擋放電產生臭氧的實驗研究.pdf

1、介質阻擋放電法是工業應用最廣泛的人工產生臭氧的方法，但是臭氧發生器的整體效率仍然有待進一步提高。第一個提高效率的方法是提高供電頻率。本文研究了7～8 kHz高頻正弦交流電壓驅動條件下，原料氣體、發生器結構、工作條件等對臭氧生成情況的影響。主要包括以下幾方面的內容： 1．研究了原料氣體不同時，電源電壓、氣體流量、原料氣體性質對臭氧產生的影響進行。結果表明，空氣源時臭氧濃度隨氣體流量的增大先升高后降低，而氧氣源時臭氧濃度不斷下降；臭

2、氧的產量隨氣體流量的增大而增加；隨氧氣相對濕度的增大，臭氧的濃度減小。 2．對氣隙寬度對臭氧產生的影響進行了研究。結果表明，不同氣隙寬度時，臭氧濃度、產生效率都是隨電源電壓、輸入功率的增大從零增加到某一最高值然后逐漸減??；輸入功率相同時，臭氧濃度、效率都隨氣隙寬度的減小而增大；隨氣隙寬度的增加，產生臭氧的起始峰值電壓增大，產生相同濃度的臭氧所需的電壓增大，達到最高濃度需要的電壓增大；臭氧濃度和效率不能在相同的電源輸入功率達到最高

3、值。 3．對不同Ar/O<,2>時臭氧的產生情況進行了研究。結果表明，在氧氣中添加氬氣時，臭氧的生成情況與純氧氣時不同?；旌蠚怏w流量為300 L/h時，當Ar與O<,2>的流量比從Ar/O<,2>=200/100到Ar/O<,2>=240/60變化時，臭氧產生效率分別隨電源電壓、輸入功率的升高而不斷降低，并且在Ar/O<,2>=200/100的低峰值電壓、低輸入功率時達到最高效率；隨Ar/O<,2>的減小，產生臭氧的起始峰值電壓