微晶硅柔性太陽能電池的研究.pdf

1、微晶硅的電導率和光吸收系數(紅外譜段)高于非晶，微晶硅電池克服了非晶電池光致衰退的缺點。微晶硅柔性太陽能電池利用微晶硅作為本征吸收層，具有柔性，可以彎曲，能夠覆蓋在衣服、包裹、帳篷等各種器物上，可以支持便攜設備的運轉，因而軍事和民用上有極高的應用價值。本文在國內首次利用VHF-PECVD法制備微晶硅柔性太陽能電池，研究了本征微晶硅材料、摻雜材料及柔性太陽能電池。 研究了硅烷濃度、氣體氣壓、輝光功率和襯底溫度等工藝參數對微晶硅薄膜

2、的影響：利用Raman光譜分析揭示了各工藝參數對微晶硅薄膜的晶體結構的影響；利用XRD對微晶硅薄膜的晶向進行了表征；SEM圖像反映了沉積條件對微晶硅薄膜表面形貌的影響；利用OES發射光譜對不同沉積條件下等離子體進行了分析；分析了微晶硅薄膜沉積速率及電學性能隨等離子體工藝參數的變化。 研究了摻雜層對柔性nip型電池性能的影響，摻雜層利用VHF-PECVD技術生長。P型材料的沉積速率隨硅烷濃度增加，硅烷濃度的變化影響了p層材料的結構

3、和B<,2>H<,6>/SiH<,4>，B<,2>H<,6>/SiH<,4>也對材料產生了影響，p層材料特性的變化也相應地改變了柔性電池的性能。n層厚度增加到320 A時，電池的效率達到最大。隨著PH<,3>/SiH<,4>的增加，n型材料的沉積速率基本不變，暗電導率則先增加到37S/cm然后下降，電池性能的變化趨勢與n型材料的暗電導率相同。 研究了不同工藝參數下本征層材料對柔性nip型電池性能的影響，制備出光電轉換效率達5.3

4、3％的微晶硅柔性太陽能電池： (1)硅烷濃度較低時，電池的Jsc和FF低。隨著硅烷濃度的增加，體復合過程減少，電池的各項性能參數增加。硅烷濃度大于5％后，Voc和FF增加，η和Jsc下降。 (2)隨著輝光功率的增加，電池本征層材料的晶化率增加，因而電池的Jsc增加，Voc、FF和η下降。 (3)氣壓較低時，電池的缺陷密度比較高，晶化率低，因而電池的效率差，其它參數都低。隨著氣壓的增加，電子溫度降低，離子轟擊強度降

5、低，因而氣壓為110和120Pa時電池的性能得到提高。氣壓增加到150Pa時，等離子體中原子氫的密度低，有利于形成非晶硅，因而此時電池的Voc和FF增加，Jsc和η下降。 (4)襯底溫度為50℃時，本征層是非晶材料，因而電池性能較差。襯底溫度高到180℃后，本征材料處于非/微晶轉變區，電池效率達到最大。隨著溫度的繼續增加，材料中晶粒的直徑增加，電池的缺陷增加，形成孔洞，因而Voc和FF持續下降，Jsc持續增加，電池的η隨著溫度的